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石英材料:重要的半导体辅材,国产替代加速(7)

2018-10-08 16:23 点击:

国产企业认证正在持续取得突破;菲利华2011年上半年通过东京电子的材料认证,成为国内唯一一家通过原厂设备认证的石英玻璃材料企业,全球目前共有5家企业通过该认证;并且继2011年石英砣通过日本东京电子公司认证后,菲利华又加强了与LAM、AMAT的合作,目前已通过美国应用材料公司AMAT及LamResearch的认证的石英材料规格达20种,FLH321FLH321L牌号产品已进入国际半导体产业链;

另外石英股份的多个半导体级产品目前也正在进行东京电子认证、国内领先的半导体器件加工商凯德石英目前也正在推进东电认证,目前进展顺利。

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